微操作的特性及静电力的消除
来源期刊：机械设计与制造2000年第6期
论文作者：姜成山 章云 杨宜民
文章页码：77 - 79
关键词：微电子机械系统;微操作;表面力;微末端执行器;
摘 要：微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术。这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨。并根据已有实验数据进行了分析。
姜成山，章云，杨宜民
摘 要：微电子机械系统是一项有广泛应用前景的实用技术。这里对微装配的必要性、微操作作业的特性及其中的力特性和表面力的消除办法进行了探讨。并根据已有实验数据进行了分析。
关键词：微电子机械系统;微操作;表面力;微末端执行器;
