基于ABQUAS的高加速高精度定位气浮平台有限元分析

来源期刊：机械设计与制造2013年第4期

论文作者：钟黔 洪荣晶 黄筱调

文章页码：137 - 140

关键词：气浮平台;定位平台;有限元分析;

摘    要：通过研究新一代封装设备的工况条件,根据高速高加速高精度的特点,设计一款应用于芯片封装方面由直线电机直接驱动的广义并联气浮定位平台结构,满足新一代的封装设备对定位平台的要求,同时为下一代封装设备的设计提供思路和方法,为相关研究工作的深入奠定了基础。通过有限元分析软件ABAQUS对定位平台进行静力学分析,分析和验证了平台结构的强度,同时对定位平台进行动力学分析,满足运动部件高刚度和质量最小化的要求。