HF-PCVD法TiO2纳米晶的粒径与晶型控制
来源期刊:稀有金属材料与工程2005年第7期
论文作者:陈新谋 展红全 孙彦平 徐海萍 王俊文
关键词:HF-PCVD; TiO2纳米晶; 粒径; 晶型;
摘 要:以TiCl4和O2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶,球形体的晶粒分散性良好,分布较为均匀;研究了控制粒径大小和晶相组成的关键反应条件.XPS,TEM,XRD结果显示:增加TiCl4进料量、延长停留时间均利于锐钛相向金红石相转化,但粒径有所增大;添加AlCl3使金红石相含量较未掺杂时有较大幅度提高,且粒径随掺铝量增加而减小.本实验条件下,TiO2纳米晶的粒径为25nm~60 nm,金红石相含量在12.0%~53.6%间可控.
陈新谋1,展红全2,孙彦平2,徐海萍2,王俊文2
(1.石家庄开发区新谋新科技开发公司,河北,石家庄,050091;
2.太原理工大学,山西,太原,030024)
摘要:以TiCl4和O2为反应体系,采用高频等离子化学气相沉积(HF-PCVD)法制备了晶化完整的锐钛和金红石混晶型TiO2纳米晶,球形体的晶粒分散性良好,分布较为均匀;研究了控制粒径大小和晶相组成的关键反应条件.XPS,TEM,XRD结果显示:增加TiCl4进料量、延长停留时间均利于锐钛相向金红石相转化,但粒径有所增大;添加AlCl3使金红石相含量较未掺杂时有较大幅度提高,且粒径随掺铝量增加而减小.本实验条件下,TiO2纳米晶的粒径为25nm~60 nm,金红石相含量在12.0%~53.6%间可控.
关键词:HF-PCVD; TiO2纳米晶; 粒径; 晶型;
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