一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器
来源期刊:功能材料与器件学报2004年第3期
论文作者:韩晓峰 吴亚明
关键词:SOI材料; 可调谐光衰减器; 双脊型波导;
摘 要:设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率.该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB.
韩晓峰1,吴亚明1
(1.中国科学院上海微系统与信息技术研究所,传感技术国家重点实验室,上海,200050;
2.中国科学院研究生院,北京,100039)
摘要:设计并制造了一种基于SOI材料的直波导可调谐光衰减器,其调制区采用了独特的双脊型PIN结构,增强了注入电流场与光场的重叠,提高电注入效率.该VOA可实现20dB的光功率衰减量,所需要的最大功率为650mW,器件的片内插入损耗约为3.6dB.
关键词:SOI材料; 可调谐光衰减器; 双脊型波导;
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