常压下用金属有机化学气相沉积法在HP40钢表面制备纳米氧化铝薄膜及表征
来源期刊：机械工程材料2011年第7期
论文作者：黄志荣 李攀瑜
文章页码：58 - 124
关键词：金属有机化学气相沉积法;氧化铝;沉积速率;纳米薄膜;
摘 要：常压下用金属有机化学气相沉积法（MOCVD）,以仲丁醇铝（ATSB）为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜;用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响,并对其形貌进行了观察。结果表明:随着沉积温度从503K升高到713K,薄膜沉积速率从0.1mg·cm-2·h-1增加到0.82mg·cm-2·h-1;当沉积温度在593～653K范围内,可获得晶粒尺寸为10～15nm的纳米氧化铝薄膜;反应的表观活化能随氮气与ATSB蒸气混合气流速增加而降低,不同的混合气流速有不同的反应级数,ATSB的反应级为0.7±0.02。
黄志荣，李攀瑜
华东理工大学机械与动力工程学院
摘 要：常压下用金属有机化学气相沉积法（MOCVD）,以仲丁醇铝（ATSB）为前驱体、氮气为载气在HP40钢表面制备了纳米氧化铝薄膜;用光学显微镜、扫描电子显微镜及能谱仪、X射线衍射仪、原子力显微镜等研究了沉积温度等参数对氧化铝薄膜沉积速率的影响,并对其形貌进行了观察。结果表明:随着沉积温度从503K升高到713K,薄膜沉积速率从0.1mg·cm-2·h-1增加到0.82mg·cm-2·h-1;当沉积温度在593～653K范围内,可获得晶粒尺寸为10～15nm的纳米氧化铝薄膜;反应的表观活化能随氮气与ATSB蒸气混合气流速增加而降低,不同的混合气流速有不同的反应级数,ATSB的反应级为0.7±0.02。
关键词：金属有机化学气相沉积法;氧化铝;沉积速率;纳米薄膜;
