锆钛酸铅(PZT)薄膜的自发极化与压电响应
来源期刊：材料研究学报2000年第4期
论文作者：徐东 孟中岩 程晋荣
关键词：压电薄膜; 溶胶-凝胶; MEMS;
摘 要：用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了近等原子比的压电PZT薄膜.在准同型相界附近的PZT薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应,内电场导致薄膜的自发极化定向,使薄膜未经极化就具有明显的压电响应.
徐东1，孟中岩2，程晋荣3
(1.上海交通大学信息存储中心;
2.上海大学材料学院;
3.上海交通大学材料学院)
摘要:用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si(100)基片上制备了近等原子比的压电PZT薄膜.在准同型相界附近的PZT薄膜的应变机制是受极化控制的压电效应,内电场导致薄膜的自发极化定向,使薄膜未经极化就具有明显的压电响应.
关键词:压电薄膜; 溶胶-凝胶; MEMS;
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