磁控溅射法在涤纶织物上制备氟碳薄膜
来源期刊:高分子材料科学与工程2008年第2期
论文作者:齐宏进 狄剑锋 黄美林
关键词:磁控溅射; 涤纶; 聚四氟乙烯; 氟碳薄膜;
摘 要:用磁控溅射法在涤纶(PET)织物上制备纳米氟碳薄膜,研究了磁控溅射过程中不同PET织物布样、溅射功率、工作气压和基底温度对薄膜性能的影响.对氟碳膜的成膜组分进行了研究,并对溅射后的织物进行了拒水性能和抗紫外性能的测试和分析.
齐宏进1,狄剑锋1,黄美林1
(1.五邑大学,广东,江门,529020)
摘要:用磁控溅射法在涤纶(PET)织物上制备纳米氟碳薄膜,研究了磁控溅射过程中不同PET织物布样、溅射功率、工作气压和基底温度对薄膜性能的影响.对氟碳膜的成膜组分进行了研究,并对溅射后的织物进行了拒水性能和抗紫外性能的测试和分析.
关键词:磁控溅射; 涤纶; 聚四氟乙烯; 氟碳薄膜;
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