基于微流量热导传感器的氢气浓度检测系统研究

来源期刊：控制工程2011年第4期

论文作者：孙冬梅 刘林 徐海滨

文章页码：505 - 1125

关键词：热导传感器;检测系统;温度控制;

摘    要：对氢气分析仪器中的核心传感器进行研究,采用基于MEMS工艺的微型热导传感器,代替现有分析仪器常用热导池检测器,设计了氢气浓度检测系统机械结构;设计信号调理电路,并在传感器外部设计环境温度控制电路,以实现传感器的恒温检测。传感器输出的微弱信号经测量电桥调理输出,通过集成运算放大器加法、放大运算,最后把标准电压信号送入单片机的测量系统进行后续处理;开发了基于单片机的信号调理、温度控制和电源控制模块,构建氢气浓度在线检测系统;从安全、节能的角度保证传感器的使用性能,并结合工程实践进行了实验验证,结果表明了该检测系统的可行性。