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硅基PtSi纳米薄膜制备及应用研究进展

来源期刊：功能材料2001年第3期

论文作者：陈学康蔡伟李美成杨建平赵连城王菁殷景华

关键词：红外探测器; 纳米薄膜; 脉冲激光沉积; 激光分子束外延;

摘要：PtSi红外探测器是一种重要的光电器件,在军事和民用方面均起着非常重要的作用.高质量硅基PtSi薄膜的制备是高性能器件研制的基础.本文介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等制备PtSi薄膜的方法.并评述了PtSi红外探测器的最新应用研究进展及发展趋势.

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陈学康¹，蔡伟²，李美成²，杨建平¹，赵连城²，王菁¹，殷景华²

(1.兰州物理研究所,激光分子束外延技术实验室,;
2.哈尔滨工业大学,材料科学与工程学院,)

摘要:PtSi红外探测器是一种重要的光电器件,在军事和民用方面均起着非常重要的作用.高质量硅基PtSi薄膜的制备是高性能器件研制的基础.本文介绍了溅射、分子束外延、脉冲激光沉积和激光分子束外延等制备PtSi薄膜的方法.并评述了PtSi红外探测器的最新应用研究进展及发展趋势.

关键词:红外探测器; 纳米薄膜; 脉冲激光沉积; 激光分子束外延;

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