加载控制模式对电沉积镍薄膜力学性能测试的影响

赵冠湘¹，黄勇力^2,3，马增胜^2,3，周益春^2,3

1. 湖南科技大学物理学院2. 湘潭大学低维材料及其应用技术教育部重点实验室3. 湘潭大学材料与光电物理学院

摘 要：为研究深度和载荷2种加载控制模式对样品硬度和杨氏模量测试结果的影响,选取了厚度为6μm的电沉积镍薄膜为样品,采用美国Hysitron公司生产的TriboIndenter型压痕仪进行压痕试验.结果表明:因薄膜和基底2种材料的性能相差较大,随着压痕深度的增加,基底效应越来越明显;载荷控制模式下所测的硬度和杨氏模量较深度控制模式的都要大,且两性能参数中因应力松弛效应的影响硬度差别更为明显.

关键词：电沉积镍薄膜;压痕;加载控制模式;硬度;杨氏模量;