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红外热释电探测器的微图形化研究

来源期刊：功能材料与器件学报2003年第4期

论文作者：张良莹姚熹李建康汪静

关键词：热释电探测器; 光刻; 剥离;

摘要：红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.

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张良莹¹，姚熹²，李建康²，汪静¹

(1.同济大学功能材料研究所,上海,200092;
2.西安交通大学电子材料研究所,西安,710049)

摘要:红外热释电探测器的关键是敏感元的研制,而敏感元主要是由具有一定图形的铁电薄膜和上下电极构成.采用半导体光刻工艺,利用化学腐蚀法成功地对PZT铁电薄膜进行了刻蚀,同时采用剥离技术对相应的电极实现了图形化.

关键词:热释电探测器; 光刻; 剥离;

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