加速管的结构设计
来源期刊：机械设计与制造1981年第5期
论文作者：李国权
文章页码：21 - 22
摘 要：<正> 加速管是离子注入机的主要部件之一,在很大程度上,它在注入机中起到了心脏的作用。其结构设计,除要求对中性好、密封严格外,还有高压绝缘等要求。为此,在80kev离子注入机上,我们对三园筒加速管
李国权
东北工学院
摘 要：<正> 加速管是离子注入机的主要部件之一,在很大程度上,它在注入机中起到了心脏的作用。其结构设计,除要求对中性好、密封严格外,还有高压绝缘等要求。为此,在80kev离子注入机上,我们对三园筒加速管
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