电磁感应加热蒸发金属铈及蒸气密度测量

来源期刊：稀有金属与硬质合金2017年第4期

论文作者：罗立平 张赫

文章页码：37 - 41

关键词：金属Ce薄膜;电磁感应加热;蒸发;蒸气密度;蒸气密度分布;

摘    要：通过对金属Ce蒸发行为的分析,确定了合适的蒸发温度,在此基础上开展了电磁感应蒸发装置的设计及蒸发技术研究。对金属Ce蒸发速率进行了测定,并采用膜厚法分析蒸气密度分布,称重法测量了蒸气密度。结果表明:2 000℃左右金属Ce蒸发速率约为99¹35g/h,实测值略低于理论值;金属Ce原子蒸气密度分布近似为余弦函数高次幂分布,原子蒸气密度约为10¹¹ atom/cm³量级。采用电磁感应加热蒸镀金属Ce薄膜具有应用可行性。