沉积条件对CVD碳纤维生长的影响
来源期刊：功能材料与器件学报2004年第3期
论文作者：朱满康 王必本 郑坤 严辉 王国菊 王波
关键词：碳纤维; 辉光放电; 负偏压; CVD;
摘 要：用CH4、H2或包含NH3的混合气体为反应气体,利用负偏压增强热丝化学气相沉积方法在沉积有过渡层(Ta或Ti)和催化剂层(NiFe)的Si衬底上制备碳纤维,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果发现不同的沉积条件对碳纤维的生长和结构有很大的影响.在无辉光放电的条件下,衬底温度较低时碳纳米管或纤维生长困难;提高衬底温度,能够弯曲生长;在辉光放电的条件下,则呈现定向生长的特点.
朱满康1，王必本1，郑坤2，严辉1，王国菊1，王波1
(1.北京工业大学量子信息材料实验室,北京,100022;
2.北京工业大学应用数理学院,北京,100022;
3.聊城大学物理科学与信息工程学院,山东,聊城,252059)
摘要:用CH4、H2或包含NH3的混合气体为反应气体,利用负偏压增强热丝化学气相沉积方法在沉积有过渡层(Ta或Ti)和催化剂层(NiFe)的Si衬底上制备碳纤维,并用扫描电子显微镜研究了它们的生长和结构,结果发现不同的沉积条件对碳纤维的生长和结构有很大的影响.在无辉光放电的条件下,衬底温度较低时碳纳米管或纤维生长困难;提高衬底温度,能够弯曲生长;在辉光放电的条件下,则呈现定向生长的特点.
关键词:碳纤维; 辉光放电; 负偏压; CVD;
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