气体配比控制方法应用
来源期刊：中国有色冶金2001年第6期
论文作者：毋克力
文章页码：42 - 43
关键词：气体配比;液体与气体配比;控制方法;
摘 要：工业上用理想气体方程对气体进行定量分析 ,通过调节气体的温度压力来控制物料的配比。本文介绍了该方法在多晶硅生产中 ,Si HCl3 液体与 H2 的配比上应用
毋克力
北京有色冶金设计研究总院 北京100038
摘 要：工业上用理想气体方程对气体进行定量分析 ,通过调节气体的温度压力来控制物料的配比。本文介绍了该方法在多晶硅生产中 ,Si HCl3 液体与 H2 的配比上应用
关键词：气体配比;液体与气体配比;控制方法;
