Honeywell EPKS平台下实现四氯化硅氢化工艺程序控制
来源期刊：云南冶金2013年第6期
论文作者：周万礼 黄庆鸿 张新红
文章页码：46 - 49
关键词：氢化工艺;EPKS;程序控制;
摘 要：改良西门子法生产多晶硅中,四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作,很难将各项工艺指标进行精确控制。实际生产中,不断进行工艺优化及操作改进,现有Honeywell EPKS平台进行自动程序设计及应用,增加多项自动连锁控制,实现了工艺生产过程程序控制。
周万礼，黄庆鸿，张新红
昆明冶研新材料股份有限公司
摘 要：改良西门子法生产多晶硅中,四氯化硅氢化工艺操作步骤繁琐且多为手动操作,很难将各项工艺指标进行精确控制。实际生产中,不断进行工艺优化及操作改进,现有Honeywell EPKS平台进行自动程序设计及应用,增加多项自动连锁控制,实现了工艺生产过程程序控制。
关键词：氢化工艺;EPKS;程序控制;
