磁控溅射镀铽在烧结钕铁硼中的晶界扩散研究

武秉晖^1,2，肖松^1,2，李伟东²，丁雪峰^2,3，冒守栋^2,4，韦习成¹，宋振纶²

1. 上海大学材料科学与工程学院2. 中国科学院宁波材料技术与工程研究所中国科学院磁性材料与器件重点实验室4. 杭州永磁集团有限公司

摘 要：采用直流磁控溅射法在烧结钕铁硼磁极表面镀覆不同厚度的Tb膜,而后进行加热扩散,研究了扩散对Nd、Tb在磁体内的分布以及磁体性能的影响。结果表明,在剩磁不明显降低的情况下矫顽力有明显的提高。扩散后的样品中主相形成了壳层结构(Nd_1-xTb_x)₂Fe₁₄B,提高了RE2Fe14B的各向异性场; Nd元素存在向表面扩散的行为,Tb随着扩散深度的增加,浓度逐渐降低。

关键词：烧结钕铁硼;磁控溅射;晶界扩散;矫顽力;