磁控溅射镍膜催化生长石墨烯及迁移表征
来源期刊：材料导报2010年第S1期
论文作者：牛亮 张国玉 刘立伟
文章页码：94 - 96
关键词：磁控溅射;石墨烯;化学气相沉积;镍催化剂;
摘 要：在Si/SiO2衬底上将磁控溅射镍膜作为催化剂,利用化学气相沉积制备了大面积连续的石墨烯薄膜,得到的石墨烯为1～15层。将石墨烯薄膜迁移到玻璃衬底和Si/SiO2衬底上,测量了薄膜的可见光透过率和薄膜电阻,并讨论了石墨烯作为透明导电电极在光电器件上的应用。
牛亮1,2，张国玉1，刘立伟2
1. 长春理工大学光电工程学院2. 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
摘 要：在Si/SiO2衬底上将磁控溅射镍膜作为催化剂,利用化学气相沉积制备了大面积连续的石墨烯薄膜,得到的石墨烯为1～15层。将石墨烯薄膜迁移到玻璃衬底和Si/SiO2衬底上,测量了薄膜的可见光透过率和薄膜电阻,并讨论了石墨烯作为透明导电电极在光电器件上的应用。
关键词：磁控溅射;石墨烯;化学气相沉积;镍催化剂;
