膜厚对SnO2∶Sb薄膜红外光学性能的影响
来源期刊：材料导报2016年第S2期
论文作者：陈博 徐海燕 张欣 王爱国
文章页码：266 - 268
关键词：溶胶-凝胶;薄膜;红外;膜厚;
摘 要：采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了Sb掺杂SnO2（SnO2∶Sb）薄膜。研究了膜厚对SnO2∶Sb薄膜红外光学性能的影响,利用X射线衍射仪、分光光度计、霍尔效应测试系统对薄膜样品进行表征和测试。结果表明:SnO2∶Sb薄膜为四方金红石型结构;当膜厚为1220nm时,薄层电阻最小,为157Ω/□;在红外波段,透射率随膜厚的增加显著下降,当膜厚为890nm时,在波长2000nm处,透射率接近于0,膜厚为1220nm时,在波长1750nm处,透射率为0。
陈博，徐海燕，张欣，王爱国
安徽建筑大学材料与化学工程学院
摘 要：采用溶胶-凝胶法在玻璃基底上制备了Sb掺杂SnO2（SnO2∶Sb）薄膜。研究了膜厚对SnO2∶Sb薄膜红外光学性能的影响,利用X射线衍射仪、分光光度计、霍尔效应测试系统对薄膜样品进行表征和测试。结果表明:SnO2∶Sb薄膜为四方金红石型结构;当膜厚为1220nm时,薄层电阻最小,为157Ω/□;在红外波段,透射率随膜厚的增加显著下降,当膜厚为890nm时,在波长2000nm处,透射率接近于0,膜厚为1220nm时,在波长1750nm处,透射率为0。
关键词：溶胶-凝胶;薄膜;红外;膜厚;
