直拉硅单晶双元素掺杂工艺
来源期刊：中国有色冶金1983年第11期
论文作者：顾福庆 陈关夫 杨德山
文章页码：35 - 38
摘 要：<正> 前言直拉硅单单晶中常用的掺杂元素有磷P、硼B、砷As、锑Sb等。众所周知N型硅单晶是采用P、As、Sb三种元素作为掺杂剂,P型硅单晶是利用元素B作为掺杂剂。随着电子工业的发展,基础材料硅在质量、品种上近几年都发
顾福庆，陈关夫，杨德山
摘 要：<正> 前言直拉硅单单晶中常用的掺杂元素有磷P、硼B、砷As、锑Sb等。众所周知N型硅单晶是采用P、As、Sb三种元素作为掺杂剂,P型硅单晶是利用元素B作为掺杂剂。随着电子工业的发展,基础材料硅在质量、品种上近几年都发
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