大行程纳米级二维位移工作台
来源期刊：机械设计与制造2008年第8期
论文作者：王生怀 谢铁邦 王选择
文章页码：133 - 135
关键词：二维位移工作台;两级驱动;双衍射光栅;细分;
摘 要：提出以双衍射光栅位移传感器作二维工作台计量标准器的方法,阐述了双衍射光栅位移传感器的位移传感原理,以及光电信号细分处理方法。结合光栅的实际参数,分析了工作台的有效分辨率。
王生怀1，谢铁邦1，王选择2
1. 华中科技大学2. 湖北工业大学
摘 要：提出以双衍射光栅位移传感器作二维工作台计量标准器的方法,阐述了双衍射光栅位移传感器的位移传感原理,以及光电信号细分处理方法。结合光栅的实际参数,分析了工作台的有效分辨率。
关键词：二维位移工作台;两级驱动;双衍射光栅;细分;
