多晶硅生产的节能减排措施
来源期刊：有色金属加工2008年第2期
论文作者：苏维
文章页码：57 - 59
关键词：多晶硅;氯硅烷;回收;节能减排;
摘 要：针对多晶硅生产中氯硅烷副产物的特性,采用先进的回收技术,将大量副产物转化为生产原料,大大降低了生产成本,同时减少了污染物排放量。
苏维
洛阳有色金属加工设计研究院 河南洛阳471039
摘 要：针对多晶硅生产中氯硅烷副产物的特性,采用先进的回收技术,将大量副产物转化为生产原料,大大降低了生产成本,同时减少了污染物排放量。
关键词：多晶硅;氯硅烷;回收;节能减排;
