放电等离子烧结技术制备复合梯度靶材的研究
来源期刊：功能材料与器件学报2004年第3期
论文作者：张久兴 刘卫强 张东涛 岳明 刘燕琴
关键词：放电等离子烧结; TbFeCo/Ti; Bi2O3/Cu; 复合梯度靶材;
摘 要：采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹.与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题.
张久兴1，刘卫强1，张东涛1，岳明1，刘燕琴1
(1.北京工业大学新型功能材料教育部重点实验室,北京,100022)
摘要:采用放电等离子烧结技术制备了TbFeCo/Ti和Bi2O3/Cu复合梯度靶材,利用扫描电子显微镜和能谱分析仪对材料的微观组织形貌及成分进行了分析.结果表明,合成的复合梯度靶材具有宏观组织不均匀性和微观组织连续性的特征,显微组织中不存在微裂纹.与单一靶材相比,TbFeCo/Ti复合梯度靶材解决了在制造和使用过程中容易碎裂的问题,Bi2O3/Cu复合梯度靶材解决了在溅射过程中的散热问题.
关键词:放电等离子烧结; TbFeCo/Ti; Bi2O3/Cu; 复合梯度靶材;
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