超声喷雾热解法生长氧化锌同质p-n结及其电致发光性能研究
来源期刊：无机材料学报2007年第1期
论文作者：胡礼中 边继明 梁红伟 刘维峰
关键词：ZnO薄膜; 同质p-n结; 电致发光; 超声喷雾热分解;
摘 要：采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结.以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结.采用热蒸发工艺在ZnO层和GaAs衬底上分别蒸镀Zn/Au和Au/Ge/Ni电极而获得发光二极管原型器件,在室温下发现了该器件正向电流注入下的连续发光现象.
胡礼中1，边继明1，梁红伟1，刘维峰1
(1.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室及物理与光电工程学院,大连,116024)
摘要:采用超声喷雾热解法在单晶GaAs(100)衬底上生长ZnO同质p-n结.以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,通过氮-铟(N-In)共掺杂沉积p型ZnO薄膜,以未故意掺杂的ZnO薄膜做为n型层获得ZnO基同质p-n结.采用热蒸发工艺在ZnO层和GaAs衬底上分别蒸镀Zn/Au和Au/Ge/Ni电极而获得发光二极管原型器件,在室温下发现了该器件正向电流注入下的连续发光现象.
关键词:ZnO薄膜; 同质p-n结; 电致发光; 超声喷雾热分解;
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