简介概要

氮化碳薄膜的红外光谱(FTIR)特性分析

来源期刊：矿冶工程2006年第3期

论文作者：毕凯陈春刘军

关键词：氮化碳薄膜; 红外光谱; 磁控溅射;

摘要：对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析.结果表明,薄膜中含有C(=)N键、C=N键以及C-N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低.改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况会发生相应的变化.

详情信息展示

毕凯¹，陈春²，刘军²

(1.镇江船艇学院,物理教研室,江苏,镇江,212003;
2.江苏大学,材料科学与工程学院,江苏,镇江,212013)

摘要:对采用磁控溅射法制备的氮化碳(CNx)薄膜进行了傅里叶变换红外光谱(FTIR)的测量与特性分析.结果表明,薄膜中含有C(=)N键、C=N键以及C-N键,但样品中碳氮键总体数量偏少,N含量偏低,N/C比偏低.改变制备工艺条件,薄膜中原子的化学结合状况会发生相应的变化.

关键词:氮化碳薄膜; 红外光谱; 磁控溅射;

【全文内容正在添加中】