薄膜厚度对PZT/STO铁电电容器隧穿电阻的影响

来源期刊：功能材料2013年第3期

论文作者：王英龙 刘林 张鹏程 梁伟华 丁学成 褚立志 邓泽超

文章页码：363 - 736

关键词：铁电电容器;隧穿效应;Landau模型;PZT;

摘    要：结合Landau-Devonshire自由能理论和晶格模型,研究了PbZr1-xTixO3（PZT）/SrTiO3（STO）复合薄膜中PZT和STO厚度对铁电隧道结极化强度、电导和隧穿电阻等的影响。模拟结果表明,随着层数增加,极化强度增大;平均极化强度随着PZT厚度增加而增强,随着STO厚度增加而减弱;随着PZT和STO厚度增加,电导减小,隧穿电阻率增加;当厚度变化相同时,PZT引起电导的变化大,隧穿电阻率变化小。考虑薄膜面积的影响,当薄膜面积从无限大变成有限大时,极化强度、电导和隧穿电阻均减小。