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微电机中转子和衬底间的微磨擦参数的提取

来源期刊：功能材料与器件学报2002年第1期

论文作者：杨俊杰姚林声甘骏人

关键词：微电机; 微磨擦; 人工神经网络; 微电机仿真系统;

摘要：为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型.通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数.仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致.

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杨俊杰¹，姚林声¹，甘骏人¹

(1.中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室,上海,200050)

摘要:为了分析微电机的动力学特性,提出了一种微磨擦参数提取的人工神经网络模型.通过该模型可以方便地得到指定加工工艺的微电机的微磨擦系数.仿真结果与实测数据比较表明,模拟结果与实测数据基本一致.

关键词:微电机; 微磨擦; 人工神经网络; 微电机仿真系统;

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