移动加热器法晶体生长的研究
来源期刊：材料导报2011年第11期
论文作者：李其松 刘俊成
文章页码：11 - 35
关键词：晶体生长;移动加热器法;磁场;加速坩埚旋转;重力;
摘 要：介绍了移动加热器法晶体生长的基本原理及其优缺点,报道了国内外最新研究进展,讨论了不同工艺参数,如磁场、加速坩埚旋转、重力、生长速度、温度等对THM生长晶体的影响,提出了提高THM生长晶体速度的设想,并就未来THM生长晶体的研究方法和发展趋势提出了自己的看法。
李其松，刘俊成
山东理工大学材料科学与工程学院
摘 要：介绍了移动加热器法晶体生长的基本原理及其优缺点,报道了国内外最新研究进展,讨论了不同工艺参数,如磁场、加速坩埚旋转、重力、生长速度、温度等对THM生长晶体的影响,提出了提高THM生长晶体速度的设想,并就未来THM生长晶体的研究方法和发展趋势提出了自己的看法。
关键词：晶体生长;移动加热器法;磁场;加速坩埚旋转;重力;
