简介概要

反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究进展

来源期刊：机械工程材料2012年第12期

论文作者：蒋芳杨勇黄政仁

文章页码：1 - 13

关键词：SiC;表面改性;反射镜;

摘要：综述了反射镜用SiC陶瓷表面改性涂层的研究现状,重点介绍了化学气相沉积(CVD)和物理气相沉积(PVD)制备SiC涂层和硅涂层的优缺点及制备机理,并讨论了SiC陶瓷光学部件表面改性今后的发展方向。

详情信息展示

蒋芳^1,2，杨勇¹，黄政仁¹

1. 中国科学院上海硅酸盐研究所结构陶瓷工程研究中心2. 中国科学院研究生院

关键词：SiC;表面改性;反射镜;