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(FeCo/CoNbZr)n多层软磁薄膜的结构与磁性能

来源期刊：磁性材料及器件2006年第6期

论文作者：胡琳蒋向东张怀武曾孝勤

关键词：(FeCo/CoNbZr)n纳米晶; 多层软磁薄膜; 磁控溅射; 磁性能; 微结构;

摘要：利用磁控溅射制备纳米晶单轴各向异性(FeCo/CoNbZr)n多层软磁薄膜,通过CoNbZr层的加入来细化FeCo颗粒.这种组合而成的多层膜矫顽力低,单轴各向异性明显,各向异性等效场Hk高,热稳定性优良,非常适合应用于超高密度磁记录头.

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胡琳¹，蒋向东¹，张怀武¹，曾孝勤¹

(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川成都,610054)

摘要:利用磁控溅射制备纳米晶单轴各向异性(FeCo/CoNbZr)n多层软磁薄膜,通过CoNbZr层的加入来细化FeCo颗粒.这种组合而成的多层膜矫顽力低,单轴各向异性明显,各向异性等效场Hk高,热稳定性优良,非常适合应用于超高密度磁记录头.

关键词:(FeCo/CoNbZr)n纳米晶; 多层软磁薄膜; 磁控溅射; 磁性能; 微结构;

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