MEMS技术概述
来源期刊：机械设计与制造2006年第4期
论文作者：王冬生 王春明 胡桂珍
文章页码：106 - 108
关键词：研究领域;加工技术;现状及展望;
摘 要：这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望。
王冬生，王春明，胡桂珍
摘 要：这里简要介绍了MEMS技术的概念、研究的主要领域和目前的应用领域,重点介绍了MEMS加工技术及其分类,最后给出了该技术的展望。
关键词：研究领域;加工技术;现状及展望;
