溅射功率对TiO2薄膜形貌和光催化性能的影响
来源期刊：材料保护2014年第S1期
论文作者：张哲朋 周晨露 禹彪 范海波 郑新亮 姚合宝
文章页码：39 - 42
关键词：TiO2薄膜;溅射功率;形貌;光催化性能;
摘 要：采用磁控溅射技术在不同溅射功率下制备了系列TiO2薄膜,并对薄膜的晶体质量、表面形貌、紫外-可见光吸收性能以及光催化性能进行了详细表征和对比。结果发现,随溅射功率增大,薄膜的结晶性能变好且内应力得到释放,薄膜表面晶体颗粒增大且表面积增加,紫外-可见吸收带边向长波长方向移动,这些因素的综合作用有利于提高薄膜的光催化性能。
张哲朋，周晨露，禹彪，范海波，郑新亮，姚合宝
西北大学物理学院
摘 要：采用磁控溅射技术在不同溅射功率下制备了系列TiO2薄膜,并对薄膜的晶体质量、表面形貌、紫外-可见光吸收性能以及光催化性能进行了详细表征和对比。结果发现,随溅射功率增大,薄膜的结晶性能变好且内应力得到释放,薄膜表面晶体颗粒增大且表面积增加,紫外-可见吸收带边向长波长方向移动,这些因素的综合作用有利于提高薄膜的光催化性能。
关键词：TiO2薄膜;溅射功率;形貌;光催化性能;
