微波PCVD法大尺寸透明自支撑金刚石膜的制备及红外透过率
来源期刊：新型炭材料2008年第3期
论文作者：汪剑波 吕宪义 李博 李红东 金曾孙 韩柏
关键词：微波PCVD; 透明自支撑金刚石膜; 红外透过率; Microwave PCVD; Transparent free-standing diamond film; IR transmittance;
摘 要：采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300um的大尺寸透明自支撑金刚石膜.在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1-4000cm-1红外波段范同内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1um/h-2um/h.在体积分数4%甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚石膜,其生长速率达到7um/h～8um/h,经过两面抛光之后膜厚为260um的金刚石膜的在500cm-1～4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到60%左右,而且膜中心和边缘区的红外透过率基本相同.这些结果为大尺寸金刚石厚膜在红外窗口上的实际应用奠定了基础.
汪剑波1，吕宪义1，李博1，李红东1，金曾孙1，韩柏2
(1.吉林大学超硬材料国家重点实验室,占林,长春,130012;
2.哈尔滨理工大学,电气与电子工程学院,黑龙江,哈尔滨,150040)
摘要:采用微波PCVD方法制备出直径50mm膜厚300um的大尺寸透明自支撑金刚石膜.在甲烷体积分数2%的条件下制备的透明自支撑金刚石膜经过两面抛光后在500cm-1-4000cm-1红外波段范同内红外透过率达到70%,但是其生长速率只有1um/h-2um/h.在体积分数4%甲烷浓度下制备的自支撑透明金刚石膜,其生长速率达到7um/h～8um/h,经过两面抛光之后膜厚为260um的金刚石膜的在500cm-1～4000cm-1红外波段范围内红外透过率达到60%左右,而且膜中心和边缘区的红外透过率基本相同.这些结果为大尺寸金刚石厚膜在红外窗口上的实际应用奠定了基础.
关键词:微波PCVD; 透明自支撑金刚石膜; 红外透过率; Microwave PCVD; Transparent free-standing diamond film; IR transmittance;
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