大颗粒在等离子体鞘层中的受力分析与计算
来源期刊：金属学报2004年第10期
论文作者：盛明裕 林国强 董闯 闻立时 王德真 郭慧梅
关键词：大颗粒; 电弧离子镀; 脉冲偏压; 等离子体鞘层; 受力分析;
摘 要：用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.
盛明裕1，林国强2，董闯2，闻立时2，王德真1，郭慧梅2
(1.大连理工大学物理系,大连,116024;
2.大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024;
3.中国科学院金属研究所,沈阳,110016)
摘要:用Edelberg和Aydil的等离子体鞘层模型,对电弧离子镀中大颗粒在脉冲偏压鞘层中的带电及受力情况进行了分析和计算,为大颗粒由于带负电而受到电场力排斥从而被净化的实验现象和物理模型提供佐证.
关键词:大颗粒; 电弧离子镀; 脉冲偏压; 等离子体鞘层; 受力分析;
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