移动加热器法晶体生长工艺的研究进展
来源期刊：材料科学与工艺2017年第4期
论文作者：高笑 刘俊成 翟慎秋
文章页码：50 - 56
关键词：晶体生长工艺;移动加热器法;基本原理;加热方式;工艺条件;生长速率;
摘 要：移动加热器法被认为是一种切实可行的生长大尺寸、高质量单晶体的方法,它结合了液相外延和区熔提纯的优点.本文阐述了移动加热器法晶体生长的基本原理、优缺点,综述了相关加热方式、晶体生长过程中的质量输运和热交换,并探讨了工艺条件(如重力场、磁场、强迫对流等和晶体生长速率)对移动加热器法生长晶体过程与晶体质量的影响,最后对移动加热器法的发展趋势进行了展望.
高笑，刘俊成，翟慎秋
山东理工大学材料科学与工程学院
摘 要：移动加热器法被认为是一种切实可行的生长大尺寸、高质量单晶体的方法,它结合了液相外延和区熔提纯的优点.本文阐述了移动加热器法晶体生长的基本原理、优缺点,综述了相关加热方式、晶体生长过程中的质量输运和热交换,并探讨了工艺条件(如重力场、磁场、强迫对流等和晶体生长速率)对移动加热器法生长晶体过程与晶体质量的影响,最后对移动加热器法的发展趋势进行了展望.
关键词：晶体生长工艺;移动加热器法;基本原理;加热方式;工艺条件;生长速率;
