类金刚石膜的沉积方法及应用
来源期刊:材料导报2015年第S1期
论文作者:王宁 王静 武玉民 侯保荣
文章页码:196 - 200
关键词:类金刚石(DLC)膜;亚稳态;沉积法;
摘 要:类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光学、生物相容性等方面具有良好性能,是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料,因而引起了人们极大兴趣,具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。
王宁1,2,王静2,武玉民1,侯保荣2
1. 青岛科技大学化工学院2. 中国科学院海洋研究所海洋环境腐蚀与生物污损重点实验室
摘 要:类金刚石(DLC)膜是一种含有大量sp3键的亚稳态非晶碳薄膜。类金刚石膜在化学、电学、热学、光学、生物相容性等方面具有良好性能,是微电子机械、医学、航空、汽车、光学等领域的理想材料,因而引起了人们极大兴趣,具有广阔的应用前景。简单介绍了DLC膜的结构、沉积法及在各个领域的应用与存在的问题。
关键词:类金刚石(DLC)膜;亚稳态;沉积法;