简介概要

铁电薄膜及其在存储器件中的应用研究现状

来源期刊：材料导报2009年增刊第2期

论文作者：刘敬松李惠琴

关键词：铁电薄膜; 工艺; 疲劳; ferroelectric thin films; processing; fatigue;

摘要：概述了铁电薄膜在非易失存储器中的应用研究现状,将铁电存储器与其他类型存储器进行了比较,针对铁电薄膜在存储器中的应用,探讨了铁电薄膜制备工艺与半导体工艺兼容性、极化疲劳、尺寸效应等几方面的问题,指出了当前研究的重点.

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刘敬松¹，李惠琴¹

(1.西南科技大学材料科学与工程学院,绵阳,621010)

摘要:概述了铁电薄膜在非易失存储器中的应用研究现状,将铁电存储器与其他类型存储器进行了比较,针对铁电薄膜在存储器中的应用,探讨了铁电薄膜制备工艺与半导体工艺兼容性、极化疲劳、尺寸效应等几方面的问题,指出了当前研究的重点.

关键词:铁电薄膜; 工艺; 疲劳; ferroelectric thin films; processing; fatigue;

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