非对称双极脉冲反应磁控溅射制备TiN/NbN多层膜
来源期刊：材料工程2012年第7期
论文作者：黑立富 徐俊波 陈良贤 李成明 吕反修
文章页码：92 - 96
关键词：纳米多层膜;力学性能;调制周期;
摘 要：采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa。利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征。
黑立富，徐俊波，陈良贤，李成明，吕反修
北京科技大学材料科学与工程学院
摘 要：采用非对称双极脉冲磁控溅射制备了一系列不同调制周期的TiN/NbN纳米多层膜,利用X射线衍射分析(XRD)、纳米压痕仪、扫描电子显微镜(SEM)表征了薄膜的微观结构、力学性能和断口形貌。结果表明,在调制周期为19.86nm时,纳米压痕硬度达到43GPa。利用三点弯曲法形成裂纹的扩展,并观察到了裂纹的偏转特征。
关键词：纳米多层膜;力学性能;调制周期;
