掺硼四面体非晶碳膜的微观结构及光谱表征
来源期刊：无机材料学报2008年第1期
论文作者：贾泽纯 朱嘉琦 韩杰才 檀满林 张化宇
关键词：四面体非晶碳(ta-C); XPS; Raman光谱;
摘 要：分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜,并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究.XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在,随着B含量的增加,sp3杂化碳的含量逐渐减小,Ta-C:B膜的Raman谱线在含硼量较高时,其D峰和G峰向低频区偏移,且G峰的半峰宽变窄,表明B的引入促进了sp2杂化碳的团簇化,减小了原子价键之间的变形,从而降低了薄膜的内应力.
贾泽纯1，朱嘉琦1，韩杰才2，檀满林2，张化宇2
(1.哈尔滨工业大学,复合材料与结构研究所,哈尔滨,150001;
2.哈尔滨工业大学,深圳研究生院,深圳,518055)
摘要:分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜,并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究.XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在,随着B含量的增加,sp3杂化碳的含量逐渐减小,Ta-C:B膜的Raman谱线在含硼量较高时,其D峰和G峰向低频区偏移,且G峰的半峰宽变窄,表明B的引入促进了sp2杂化碳的团簇化,减小了原子价键之间的变形,从而降低了薄膜的内应力.
关键词:四面体非晶碳(ta-C); XPS; Raman光谱;
【全文内容正在添加中】
