8英寸RTP炉电磁驱动旋转结构设计研究
来源期刊：北方工业大学学报2013年第3期
论文作者：狄杰建 郭翱杰 李晓辉
文章页码：56 - 59
关键词：RTP炉;ANSYS仿真;电磁驱动旋转结构;
摘 要：基于电磁原理,提出了电磁驱动旋转结构.通过理论计算,确定了电磁驱动旋转系统的启动力矩和励磁磁动势.通过数值仿真,研究了伸入量和气隙对电磁转矩的影响.结果发现,气隙越小,转矩越大;气隙在0~5mm内,伸入量越大,转矩越大;5~14mm内,伸入量越大,转矩越小.研究结果对于RTP炉电磁驱动旋转结构设计,具有一定的指导意义.
狄杰建，郭翱杰，李晓辉
北方工业大学机电工程学院
摘 要：基于电磁原理,提出了电磁驱动旋转结构.通过理论计算,确定了电磁驱动旋转系统的启动力矩和励磁磁动势.通过数值仿真,研究了伸入量和气隙对电磁转矩的影响.结果发现,气隙越小,转矩越大;气隙在0~5mm内,伸入量越大,转矩越大;5~14mm内,伸入量越大,转矩越小.研究结果对于RTP炉电磁驱动旋转结构设计,具有一定的指导意义.
关键词：RTP炉;ANSYS仿真;电磁驱动旋转结构;
