蓝宝石衬底基片表面平整加工工艺研究

来源期刊：机械设计与制造2018年第6期

论文作者：徐晓明 周海 黄传锦

文章页码：236 - 480

关键词：蓝宝石;衬底基片;平整加工;工艺方案;实验研究;表面质量;

摘    要：重点探讨了蓝宝石衬底基片表面平整加工工艺方案,并开展了表面平整加工工艺的实验研究。采用形状测量激光显微系统、接触式测厚仪等,对平整加工工艺各阶段的表面形貌、表面粗糙度Ra、翘曲度、平整度及加工去除量等进行测量和对比分析。结果表明:随着本实验平整加工工艺方案的进行,蓝宝石衬底基片的表面质量不断提高,最终获得了超光滑无损伤镜面表面,化学机械抛光后的衬底表面粗糙度Ra达0.3nm,翘曲度为3.8μm,平整度为1.5μm,符合蓝宝石衬底基片超精密加工的表面质量要求。