等离子喷涂致密La_0.6Sr_0.4Co_0.2Fe_0.8O_3-δ透氧膜的氧传输行为

牛少鹏^1,2，周克崧^1,2，徐丽萍²，邓畅光²，毛杰²，曾威²

1. 华南理工大学2. 广东省新材料研究所现代材料表面工程技术国家工程实验室广东省现代表面工程技术重点实验室

摘 要：采用超音速等离子喷涂（SAPS）和等离子物理气相沉积方法（PS-PVD）制备了结构致密的钙钛矿型（ABO₃）La_0.6Sr_0.4Co_0.2Fe_0.8O_3-δ（LSCF）透氧膜。利用氧程序升温脱附（O2-TPD）、XPS等手段,比较了2种膜在200～900℃间氧物种在表面及体相中的传递变化情况。O2-TPD结果显示:SAPS膜的物理吸附氧脱附量、化学吸附氧脱附量和晶格氧脱附量分别超过PS-PVD膜的2倍、3倍和6倍;而XPS结果显示:SAPS膜表面吸附氧与晶格氧O1s峰面积比也高于PS-PVD膜。以上结果表明SAPS膜对氧具有更好的吸附及解离能力、更多的本征氧空位及更高的空位生成能力。

关键词：超音速等离子喷涂;低压等离子物理气相沉积;透氧膜;氧传输行为;