热处理温度对NdFeB稀土永磁薄膜磁性能的影响
来源期刊：磁性材料及器件2004年第4期
论文作者：蒋洪川 张万里 张勤勇
关键词：直流磁控溅射; NdFeB永磁薄膜; 退火; 磁性能;
摘 要：采用直流磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜,并对其进行了退火热处理,主要考察了热处理温度对薄膜磁性能的影响.结果表明,热处理后的薄膜磁性能显著提高,随热处理温度的升高,薄膜的磁性能逐渐升高,但当温度上升到700℃时,薄膜的磁性能迅速下降.在热处理温度为650℃时,薄膜的最佳磁性能为,矫顽力Hc=650kA/m,剩余磁感应强度Br=0.72T,最大磁能积(BH)max=74kJ/m3.
蒋洪川1，张万里1，张勤勇2
(1.电子科技大学,微电子与固体电子学院,四川成都,610054;
2.西华大学,材料系,四川成都,610039)
摘要:采用直流磁控溅射法制备NdFeB稀土永磁薄膜,并对其进行了退火热处理,主要考察了热处理温度对薄膜磁性能的影响.结果表明,热处理后的薄膜磁性能显著提高,随热处理温度的升高,薄膜的磁性能逐渐升高,但当温度上升到700℃时,薄膜的磁性能迅速下降.在热处理温度为650℃时,薄膜的最佳磁性能为,矫顽力Hc=650kA/m,剩余磁感应强度Br=0.72T,最大磁能积(BH)max=74kJ/m3.
关键词:直流磁控溅射; NdFeB永磁薄膜; 退火; 磁性能;
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