HFCVD在硬质合金基体上沉积(110)&(100)金刚石薄膜
来源期刊：硬质合金2005年第4期
论文作者：余志明 刘王平
关键词：HFCVD; 金刚石薄膜; 形貌; 织构; 附着力;
摘 要：以CH4和H2为反应气体,用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上沉积了具有(110)和(100)织构的金刚石薄膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、压痕仪对样品进行了分析.结果表明:金刚石薄膜由约1μm大小立方金刚石晶粒组成,其形核密度大于2×108/m2;(110)和(100)织构系数分别为0.59和0.033,压痕荷载为588N时附着性能良好.
余志明1，刘王平1
(1.中南大学,材料科学与工程学院,长沙,410083)
摘要:以CH4和H2为反应气体,用热丝化学气相沉积(HFCVD)法在YG6(WC-6%Co)硬质合金基体上沉积了具有(110)和(100)织构的金刚石薄膜.用扫描电子显微镜、X射线衍射仪、压痕仪对样品进行了分析.结果表明:金刚石薄膜由约1μm大小立方金刚石晶粒组成,其形核密度大于2×108/m2;(110)和(100)织构系数分别为0.59和0.033,压痕荷载为588N时附着性能良好.
关键词:HFCVD; 金刚石薄膜; 形貌; 织构; 附着力;
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