钛阳极氧化膜的半导体特性及腐蚀行为

来源期刊：材料保护2011年第10期

论文作者：钱备 李淑英 范洪强 余相仁 张琳

文章页码：8 - 17

关键词：阳极氧化膜;钛材;半导体特性;腐蚀性能;

摘    要：目前,国内外还鲜见有关金属钛阳极氧化膜半导体特性与腐蚀行为的报道。采用极化曲线、交流阻抗和Mott-Schottky曲线研究了TA2硫酸和磷酸阳极氧化膜的腐蚀性能和半导体特性。结果表明:在1%NaCl溶液中,钛阳极氧化膜的自腐蚀电位升高,自腐蚀电流密度降低,耐蚀性能提高;氧化电压对氧化膜的厚度有较大影响;磷酸阳极氧化膜在低频区阻抗更大;2种阳极氧化膜都是n型半导体,磷酸阳极氧化膜的载流子密度较小,平带电位更负。