X射线衍射分析在硬质合金涂层中的应用
来源期刊：硬质合金2008年第4期
论文作者：胡希川
关键词：X射线衍射分析; 硬质合金; 涂层; 物相分析; 厚度; 残留应力;
摘 要：硬质合金涂层刀具的性能与其内在结构密切相关,特别是涂层部分.利用X射线衍射进行硬质合金涂层性能的综合分析,可测定涂层的物相组成、涂层厚度、晶粒尺寸、残留应力以及涂层中碳的含量等等.观察其衍射图谱,对各种涂层成分如:Al2O3、TiC、TiN、η相等进行分析,探讨他们对涂层刀片性能的影响;通过衍射峰强度、强度比、D值等定性分析各物相及其定性含量,确定是否存在择优取向.X射线衍射分析是一种非破坏性的测定方法,检测快速方便,有助于生产中优化涂层工艺.提高涂层的整体加工性能,对硬质合金涂层的质量控制、机理研究和新工艺的研发均有着不可忽视的作用.
胡希川1
(1.成都工具研究所,四川成都,610051)
摘要:硬质合金涂层刀具的性能与其内在结构密切相关,特别是涂层部分.利用X射线衍射进行硬质合金涂层性能的综合分析,可测定涂层的物相组成、涂层厚度、晶粒尺寸、残留应力以及涂层中碳的含量等等.观察其衍射图谱,对各种涂层成分如:Al2O3、TiC、TiN、η相等进行分析,探讨他们对涂层刀片性能的影响;通过衍射峰强度、强度比、D值等定性分析各物相及其定性含量,确定是否存在择优取向.X射线衍射分析是一种非破坏性的测定方法,检测快速方便,有助于生产中优化涂层工艺.提高涂层的整体加工性能,对硬质合金涂层的质量控制、机理研究和新工艺的研发均有着不可忽视的作用.
关键词:X射线衍射分析; 硬质合金; 涂层; 物相分析; 厚度; 残留应力;
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