EBSD研究高纯金溅射靶材的微观组织与织构
来源期刊：贵金属2014年第3期
论文作者：阳岸恒 朱勇 邓志明 谢宏潮 张国全 吴霏
文章页码：45 - 48
关键词：金属材料;高纯金;溅射靶材;电子背散射衍射;取向差;织构;
摘 要：溅射靶材的微观组织均匀性、晶粒尺寸大小及晶粒取向分布对溅射性能有着直接的影响。采用电子背散射衍射(EBSD)技术对制备的高纯Au溅射靶材不同区域的微观组织、织构组分和晶界取向差进行了研究。结果表明,高纯金靶材整体晶粒尺寸分布均匀,平均尺寸192.5 nm,边沿及中心晶界取向差分布比较相似,组织均匀性良好,对溅射高质量薄膜十分有利。
阳岸恒，朱勇，邓志明，谢宏潮，张国全，吴霏
贵研铂业股份有限公司稀贵金属综合利用新技术国家重点实验室
摘 要：溅射靶材的微观组织均匀性、晶粒尺寸大小及晶粒取向分布对溅射性能有着直接的影响。采用电子背散射衍射(EBSD)技术对制备的高纯Au溅射靶材不同区域的微观组织、织构组分和晶界取向差进行了研究。结果表明,高纯金靶材整体晶粒尺寸分布均匀,平均尺寸192.5 nm,边沿及中心晶界取向差分布比较相似,组织均匀性良好,对溅射高质量薄膜十分有利。
关键词：金属材料;高纯金;溅射靶材;电子背散射衍射;取向差;织构;
