微机控制电致伸缩陶瓷微位移器的设计
来源期刊：机械设计与制造1986年第4期
论文作者：程凯
文章页码：17 - 20
摘 要：<正> 一、引言随着近代科学技术的迅速发展,对零件机械加工精度的要求也越来越高。在精密加工的基础上,出现了0.1～0.01微米级的超精密加工技术。然而,高质鞋的微位移器是
程凯
哈尔滨工业大学
摘 要：<正> 一、引言随着近代科学技术的迅速发展,对零件机械加工精度的要求也越来越高。在精密加工的基础上,出现了0.1～0.01微米级的超精密加工技术。然而,高质鞋的微位移器是
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