退火处理对MgO薄膜性能的影响

张骏^1,2，刘胜利^2,3，王海云^2,3，程杰³

1. 南京邮电大学电子科学与工程学院2. 南京大学(苏州)高新技术研究院3. 南京邮电大学理学院先进功能陶瓷研究中心

摘 要：采用磁控溅射法在石英衬底上制备了MgO薄膜并分别在不同温度下进行退火处理。利用X射线衍射仪（XRD）和扫描电子显微镜（SEM）研究了MgO薄膜的结构和表面形貌随退火温度的变化,发现退火可以改善薄膜的结晶质量,即随着退火温度的升高,晶粒尺寸逐渐增大,结晶性能更佳,表面更加平整。此外,通过紫外-可见光分光光度计研究了MgO薄膜光学特性的变化,发现随着薄膜退火温度的升高,可见光透射率下降,光学带隙值逐渐减小。

关键词：MgO薄膜;退火处理;光学特性;磁控溅射;