磁控反应溅射不锈钢表面制备纳米TiO2薄膜及光催化活性研究
来源期刊：功能材料2004年第2期
论文作者：杨宗立 张建民 袁胜利 张宗权 季淑莉
关键词：磁控溅射; 不锈钢; 纳米TiO2薄膜; 苯酚;
摘 要：不锈钢箔片上溅射沉积25nm的钛底膜后,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧气氛下进行热处理.XRD分析看出,薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型.测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量含量约64%,其晶粒尺寸约14nm.用"弯曲法"测试表明,膜基结合力强.由对苯酚溶液的降解实验看出,制备光催化薄膜具有较好的光催化活性.
杨宗立1，张建民1，袁胜利1，张宗权1，季淑莉1
(1.陕西师范大学,物理学与信息技术学院,陕西,西安,710062)
摘要:不锈钢箔片上溅射沉积25nm的钛底膜后,在工作真空0.9Pa,O2、Ar分压比1∶6,基体温度270～280℃的条件下,用直流磁控反应溅射法制备了厚度约300nm的TiO2薄膜, 并在420℃的氧气氛下进行热处理.XRD分析看出,薄膜为TiO2锐钛矿和金红石复合晶型.测算表明TiO2复合晶中锐钛矿质量含量约64%,其晶粒尺寸约14nm.用"弯曲法"测试表明,膜基结合力强.由对苯酚溶液的降解实验看出,制备光催化薄膜具有较好的光催化活性.
关键词:磁控溅射; 不锈钢; 纳米TiO2薄膜; 苯酚;
【全文内容正在添加中】
